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微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統

  • 更新時間☁↟↟◕:  2020-08-10
  • 產品型號☁↟↟◕:  Skyscan1272
  • 簡單描述
  • 微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統是一種基於X射線的成像技術☁·││↟,使用微型計算機斷層掃描技術(Micro Computed Tomography)••·▩。包括掃描和重構兩個主要部分☁·││↟,Micro/Nano 表明其解析度可達到微米/亞微米級別••·▩。
詳細介紹

CT基本原理

微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統(3D XRM)是一種基於X射線的成像技術☁·││↟,使用微型計算機斷層掃描技術(Micro Computed Tomography)••·▩。包括掃描和重構兩個主要部分☁·││↟,Micro/Nano 表明其解析度可達到微米/亞微米級別••·▩。

半導體產業是國家重點支持和鼓勵的發展方向☁·││↟,半導體器件封裝和內部缺陷檢測越來越重要☁·││↟,而微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統(3D XRM)☁·││↟,可以在無損不破壞樣品的情況下☁·││↟,清晰地觀測到電子元器件的分佈情況及封裝器件的內部結構☁·││↟,同時☁·││↟,可檢測虛焊╃│·↟、連錫╃│·↟、斷線等缺陷資訊☁·││↟,可以三維重構整個半導體器件內部結構☁·││↟,對於研發和後期加工工藝的改進╃│·↟、提升起到重要的指導作用••·▩。

SkyScan 1272 High Resolution Micro CT針對半導體領域小樣品器件☁·││↟,如電阻電容╃│·↟、攝像頭的鏡頭等有著超高解析度優勢••·▩。

 

應用例項

小型電子產品

 

Inductor – 3 µm voxel size

 

Chip – 2 µm voxel size

 

瞭解更多應用方向☁·││↟,請致電束蘊儀器(上海)有限公司


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